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一种移动正离子污染（ＰＭＩＣ）的测量装置，设置于半导体基底上。半导体基底上设置有ＭＯＳ晶体管。移动正离子污染的测量装置则是由加热装置、温度测量装置、栅极所构成。加热装置是设置在等场氧化层的表面。温度测量装置是设置在加热装置的表面，以测量的温...
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