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揭示了一种用于利用宽带白光表征微电子特征部件的质量的方法。一个高度准直的光源使用宽带多光谱光照射一个第一晶片的一个区域。然后测量从第一晶片散射的光的角分布。通常，改变光源、检测器、或二者的角度，并在每个角度进行角分布测量，产生第一晶片的散射...
该专利属于拉姆研究公司;威利蒂器械公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉姆研究公司;威利蒂器械公司授权不得商用。

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