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公开了一种真空排气系统和抽空多个腔室（10）的方法。真空排气系统位于洁净间中，并且包括：多个分支工艺气体通道（14），每个分支工艺气体通道被配置成连接到相应的腔室（10）；以及共享工艺通道（16），该共享工艺通道由分支通道的汇合形成，并且被...
该专利属于爱德华兹真空泵有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹真空泵有限责任公司授权不得商用。

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