温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体湿法清洗设备技术领域，尤其涉及一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。其技术方案包括：固定互连的主体板和中间板以及同时贯穿主体板和中间板开设的第二抽风口，所述中间板外表面左右对称固定连接有一对用于使移动式抽风口板上下滑移...
该专利属于上海思恩装备科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海思恩装备科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。