一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体湿法清洗设备技术领域，尤其涉及一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。其技术方案包括：固定互连的主体板和中间板以及同时贯穿主体板和中间板开设的第二抽风口，所述中间板外表面左右对称固定连接有一对用于使移动式抽风口板上下滑移的滑槽式挡条，所述中间板外表面底侧固定连接有用于使移动式斜面板左右水平滑移的导向式挡条，所述移动式抽风口板底部开设有与移动式斜面板相匹配的斜面缺口，所述移动式抽风口板贯穿开设有与第二抽风口一一对应的第一抽风口。本申请通过在设备前面端就可左右移动旋钮扳手调节抽风大小，使用时方便快捷，避免人员需要调节从而攀爬主管道调节，大大提高使用设备时的人员安全和便捷性。时的人员安全和便捷性。时的人员安全和便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置


[0001]本技术涉及半导体湿法清洗设备
，尤其涉及一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。

技术介绍

[0002]半导体器件清洗是电子产业重要的一个工艺步骤，在使用化学液清洗过程中，会产生酸碱气体或有毒气体，在使用设备时，需要将这些气体抽走集中处理，根据工况不同，对抽风量大小要求也应有所不同，另外还会出现将某一处槽体的抽风开大，某一处的抽风关闭的情况。在目前情况下，许多设备均是处于抽风口完全打开不可调的情况，不管何种工况，都保证同一抽风量，另外调节装置处于设备顶部或者背部的主通风管道口，人员需要攀爬主管道进行调节，不能保证随时便捷有效地调整抽风，不仅降低了使用设备时的人员安全和便捷性，且产生一些不必要的损耗。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种能调节抽风口大小的半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。
[0004]本技术的技术方案：一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，包括固定互连的主体板和中间板以及同时贯穿主体板和中间板开设的第二抽风口，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，包括固定互连的主体板(6)和中间板(7)以及同时贯穿主体板(6)和中间板(7)开设的第二抽风口(9)，其特征在于：所述中间板(7)外表面固定连接有一对用于使移动式抽风口板(1)上下滑移的滑槽式挡条(2)，所述中间板(7)外表面底侧固定连接有用于使移动式斜面板(5)左右水平滑移的导向式挡条(3)，所述移动式抽风口板(1)底部开设有与移动式斜面板(5)相匹配的斜面缺口(10)，所述移动式抽风口板(1)贯穿开设有能与第二抽风口(9)一一对应的第一抽风口(8)。2.根据权利要求1所述的一种半...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文和，卢刘振，唐飞，
申请(专利权)人：上海思恩装备科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：