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本实用新型涉及一种气动晶圆打点装置，此打点装置包括墨盒、墨盒座、墨盒驱动气缸、基座、墨盒座驱动气缸以及导轨，基座的右侧的上端安装有上第一气管，下端安装有墨盒座驱动气缸，墨盒座驱动气缸受控于第二气管，基座左侧安装有墨盒座，墨盒座下侧内穿插有导...
该专利属于南京维埃迪光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京维埃迪光电技术有限公司授权不得商用。

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