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电可擦可编程只读存储器单元及其制造方法技术
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文档序号:3215536
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本发明是揭露一种电可擦可编程只读存储器单无及其制造方法,形成于一半导体基板上,其主要是选用一种晶格排列方向特殊的半导体基板,并利用硅的局部氧化制造过程以于该半导体基板上形成尖点,以使电子擦除更加便利,进而降低组件的操作电压。此外,其形成的方...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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