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目前的钴硅化物制备工艺通常采用双层金属的办法，即Ｃｏ／Ｔｉ法，通过在Ｃｏ金属的上方淀积一定厚度的Ｔｉ金属，来消除外界条件（如净化室和反应腔体中的氧）和硅片表面天然氧化物对Ｃｏ形成硅化物的影响。我们在Ｃｏ的上下分别ＰＶＤ淀积一层金属，其中上表...
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