下载一种半导体用热板炉的技术资料

文档序号:32151911

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本实用新型公开了一种半导体用热板炉,包括外壳,还包括加热机构,所述加热机构具体由保温框、隔热板、加热片、弹簧伸缩杆、接头、连接块、加热器和加热板组成,所述外壳内壁安装有保温框,所述保温框内壁配合滑动连接有隔热板,所述隔热板表面一侧焊接有弹簧...
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