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提供能够减少漏电流并且增加电容量的薄膜电容器。上部电极３及下部电极１是由选自ＴｉＮ，Ｔｉ，Ｗ，ＷＮ，Ｐｔ，Ｉｒ，Ｒｕ的金属或者金属氮化物中的至少一种构成的。电容绝缘膜２则２由选自利用原子层淀积（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉ...
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