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一种消除浅沟槽隔离区的漏电流的方法，至少包括如下步骤：进行一蚀刻制程，于基底中形成沟槽；进行一热氧化制程，并同时导入反二氯乙烯做为制程气体，于该沟槽表面成长一衬氧化层，并将该沟槽的多数个角落圆化；形成一绝缘层，填入该沟槽中。具有消除浅沟槽隔...
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