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本发明提供一种薄膜沉积用分子束源装置和分子束沉积薄膜的方法，通过加热蒸发材料（５）、使该蒸发材料（５）熔融后蒸发，产生用于在固体表面上生长薄膜的蒸发分子。该分子束源装置具有装有蒸发材料（５）的坩埚（１）和加热装在该坩埚（１）中的上述蒸发材料...
该专利属于长州产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过长州产业株式会社授权不得商用。

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