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一种测量光罩布局修正所引起桥接的方法，包括：首先提供具有布局的光罩，此布局至少包含导线图案、连接至导线图案的多个基极图案与多个接触图案组，其中任一接触图案组皆至少包含多个接触图案并且至少围绕一相对应基极未与导线图案连接的一端；然后修正布局，...
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