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一种DMOS器件(或者IGBT),它包括:SiC衬底2、形成在外延层内的n-SiC层3(漂移区)、栅极绝缘膜6和栅电极7a、将栅电极7a包围起来的源电极7b、形成在SiC衬底2下面的漏电极7c、p-SiC层4、以及从源电极7b端部下方到栅电...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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