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半导体存储装置制造方法及图纸
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文档序号:3214612
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虽然能够提高SRAM的集成度,但是第二金属配线a2、b2必须与第一金属配线a1、b1等在不同的层配线。从而增加了配线层,导致制造工序增加、制造工期延长以及制造成本增加等问题。分割P阱区,NMOS晶体管N1、N3形成于第一P阱区,NMOS晶体...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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