下载一种沟槽式栅极IGBT结构的技术资料

文档序号:32143670

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本实用新型提供了一种沟槽式栅极IGBT结构,基板的表面开设有环形槽,环形槽的内部设置有铅环,元胞包括n型衬底,n型衬底的底部设置有p+集电极,p+集电极的底部设置有集电极金属,n型衬底的顶部设置有p型阱,p型阱的顶部依次设置有p+型短路区和...
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