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一种制造半导体器件的方法，其特征在于，它包括下列步骤：在整个玻璃衬底上制备多个半导体岛；将所述半导体岛都掺以离子；将具有在一个方向上的细长截面的脉动准分子激光束对准所述玻璃衬底；沿垂直于所述脉动准分子激光束伸长方向的方向移动所述玻璃衬底，从...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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