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一种半导体制造装置用旋转机的寿命预测方法，其特征在于包含： 用分析对象频率的１／２周期以下的抽样间隔、前述分析对象频率的４倍以上的抽样数，将旋转机加速度的评价用时间系列数据进行抽样测定的步骤； 将上述评价用时间系列数据作频率分析...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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