下载材料处理设备及其操作方法的技术资料

文档序号:32138900

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本发明提供一种材料处理设备,包括处理腔室、外部压力源、减压器、温度调节器以及控制器。处理腔室具有内部空间。外部压力源连接于处理腔室,用以对内部空间进行加压动作。减压器连接于处理腔室,用以对内部空间进行减压动作。温度调节器设置于处理腔室内,用...
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