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一种监测自行对准硅化物残留的测试窗结构，该测试窗结构包含有一硅基底；复数列扩散区域互相平行设置于该硅基底表面；复数行多晶硅线，横跨于该复数列扩散区域上，且该复数行多晶硅线将该复数列扩散区域区隔出复数个接触洞区域，其中各该接触洞区域皆包含有一...
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