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一种半导体装置的制造设备包含：一反应室，该反应室具有一第一侧、一第二侧、和一侧壁，此反应室包含经过该第二侧的一排气孔，该侧壁介于该第一侧和第二侧间；在该反应室中的一承载器托住一基板于其上，该承载器平行于该第二侧；一抽气板，介于该承载器和第二...
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