下载一种自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置的技术资料

文档序号:32132279

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本发明属于硅片镀膜技术领域,具体的说是一种自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置,包括内转向组和外转向组;所述内转向组安装于外转向组内;所述内转向组包括内转向套、内转轴、内铜套和卡簧;所述外转向组包括外转向套、外转轴和外铜套;安装固定板通过外...
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