下载双镶嵌金属内连线结构及其制作方法的技术资料

文档序号:3213163

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一种双镶嵌结构,其特征是:包含有: 一底层,其内包含有一导电层; 一第一介电层,设于该底层上; 一蚀刻停止层,设于该第一介电层上; 一介质窗开口,设于该第一介电层及蚀刻停止层中,以暴露出部份该导电层; 一第二介...
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