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提高起始电压稳定性的金属氧化物半导体的制作方法技术
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文档序号:3213106
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一种于一半导体基底上制作复数个金属氧化物半导体(MOS)晶体管的方法,其特征是:该方法包含有下列步骤: 于该半导体基底表面依序形成一栅氧化层以及一多晶硅层; 于该多晶硅层表面形成一第一光阻层,并进行一第一黄光制程以定义出至少一个...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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