下载提高起始电压稳定性的金属氧化物半导体的制作方法的技术资料

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一种于一半导体基底上制作复数个金属氧化物半导体(MOS)晶体管的方法,其特征是:该方法包含有下列步骤: 于该半导体基底表面依序形成一栅氧化层以及一多晶硅层; 于该多晶硅层表面形成一第一光阻层,并进行一第一黄光制程以定义出至少一个...
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