下载制备衬底的方法以及使用该方法获得的衬底的技术资料

文档序号:3213048

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本发明涉及一种用于制备衬底的方法,特别是用在光学、电子学或光电子学领域中,包括将第一材料的有源部件(10,16)键合到含有第二材料的支持基板(2)的一个表面上的操作。本发明的特征在于:进一步包括一淀积操作,将一非晶材料(6)淀积到由第二材料...
该专利属于S.O.I.硅绝缘体技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过S.O.I.硅绝缘体技术公司授权不得商用。

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