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硅片含铜量的测定方法技术
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文档序号:32129616
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本发明公开了一种硅片含铜量的测定方法,包括以下步骤:将待测硅片与陪片进行键合,得到键合硅片;将键合硅片在预设温度热处理预设时长,预设温度为400℃
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该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。
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