下载硅片含铜量的测定方法的技术资料

文档序号:32129616

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本发明公开了一种硅片含铜量的测定方法,包括以下步骤:将待测硅片与陪片进行键合,得到键合硅片;将键合硅片在预设温度热处理预设时长,预设温度为400℃
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