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本发明提供了一种晶体管,包括衬底,堆叠于所述衬底上的二维半导体层,设置于所述二维半导体层两侧的源电极和漏电极,堆叠于所述二维半导体层上的栅控介质层,堆叠于所述栅控介质层上石墨炔层,位于所述石墨炔层上方的栅电极,填充于所述栅电极与所述石墨炔层...该专利属于上海集成电路制造创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路制造创新中心有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种晶体管,包括衬底,堆叠于所述衬底上的二维半导体层,设置于所述二维半导体层两侧的源电极和漏电极,堆叠于所述二维半导体层上的栅控介质层,堆叠于所述栅控介质层上石墨炔层,位于所述石墨炔层上方的栅电极,填充于所述栅电极与所述石墨炔层...