温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的多层配线装置,具备:在同一方向上保持间距排列的多条配线(M1a,M1b,…,M1h,M2a,M2b,…,M2f、M3a,M3b,…,M3h)的,该保持间距排列的方向相互交叉地叠层的多个配线层(M1,M2,M3)。还具备:所述多个配线...该专利属于半导体理工学研究中心股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过半导体理工学研究中心股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的多层配线装置,具备:在同一方向上保持间距排列的多条配线(M1a,M1b,…,M1h,M2a,M2b,…,M2f、M3a,M3b,…,M3h)的,该保持间距排列的方向相互交叉地叠层的多个配线层(M1,M2,M3)。还具备:所述多个配线...