下载多层配线装置和配线方法以及配线特性分析和预测方法的技术资料

文档序号:3212856

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本发明的多层配线装置,具备:在同一方向上保持间距排列的多条配线(M1a,M1b,…,M1h,M2a,M2b,…,M2f、M3a,M3b,…,M3h)的,该保持间距排列的方向相互交叉地叠层的多个配线层(M1,M2,M3)。还具备:所述多个配线...
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