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一种方法和装置，用于在一个缺陷源识别器和一个工具数据收集及控制系统之间提供通信。缺陷源识别器收集缺陷数据，直至识别出缺陷为止。一旦识别出一个缺陷，便向工具数据收集和控制系统发出请求，以请求在发生该缺陷时的工具参数数据。工具数据收集及控制系统...
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