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本申请实施例提供了一种铁电隧道结器件及其制造方法，铁电隧道结器件包括依次层叠的第一电极、铁电层、介质层和第二电极，其中介质层的厚度小于铁电层的厚度，介质层厚度较薄，可以作为铁电隧道结器件的隧穿层，为器件提供较大的隧穿电流，以便器件后续进行非...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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