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本发明公开了一种具有缓冲层的氧化镓基异质结紫外探测器及其制备方法，该紫外探测器的结构自下而上依次为c面蓝宝石（Al2O3）层、Ga2O3薄膜层、SnO缓冲层、SnS薄膜层和Au/Ti电极对。该结构采用脉冲激光沉积（PLD）方法制备，具体如下...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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