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一种用以量测表面介电常数的探针，其中此探针为一结构膜层以及一绝缘膜层所组成的复合层结构，而此结构膜层系由一第一导电区域、一第二导电区域以及一绝缘区域所组成，而此绝缘区域为连续波形状且位于第一导电区域以及第二导电区域之间，用以隔离第一导电区域...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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