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一种定义低介电常数介电层的方法。直接暴露在高能量流下来定义低介电常数介电层，而不需要使用任何的光阻层，借以使低介电常数介电层暴光的部分固化，而变的不溶于显影溶液中，低介电常数介电层未曝光的部分则会溶解在显影溶液中，并将会在显影步骤中被移除，...
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