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不同偏度砷化镓籽晶加工及砷化镓单晶的制备方法,涉及半导体晶体生长领域,尤其是一种砷化镓单晶的制备技术。本发明的方法包括了籽晶胚的加工和定向、籽晶抛光和清洗、单晶生长等步骤,其中,钻取种子胚大小适中,种子胚比种子小嘴内径小0.025mm温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
不同偏度砷化镓籽晶加工及砷化镓单晶的制备方法,涉及半导体晶体生长领域,尤其是一种砷化镓单晶的制备技术。本发明的方法包括了籽晶胚的加工和定向、籽晶抛光和清洗、单晶生长等步骤,其中,钻取种子胚大小适中,种子胚比种子小嘴内径小0.025mm