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低阻抗去耦装置制造方法及图纸
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下载低阻抗去耦装置的技术资料
文档序号:3212161
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一种用于在数字电路中去耦高频噪声波的去耦装置,其形成为线装置,包括一部分的半导体衬底,在半导体衬底上形成的作为栅极氧化膜的绝缘膜,以及在绝缘膜上形成的作为门电极的互连线。互连线与半导体衬底之间的线电容为100pF或更大,因此,该去耦装置能够...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。
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