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一种在半导体元件的工艺中防止钨插塞腐蚀的方法，其中在一基底上已形成有一钨插塞且该钨插塞与形成在基底上的导线耦接。首先将基底浸泡于一非离子良性溶剂中，以实质上去除累积在导线表面上的电荷，接着再进行洗濯程序以清洗导线表面，其后再进行旋干步骤。...
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