下载压力传感器的技术资料

文档序号:3211980

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一种包括具有在其上形成的电极的玻璃板的电容型压力传感器。膜片由半导体材料形成并且粘结在玻璃衬底上以形成至少包括一部分电极的封闭空腔、从而形成电容元件,使用时,电信号可以通过所述电容元件以测定指示待测压力的所述电容器的电容量。...
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