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本文披露了提高产量的基板处理装置。根据本发明的基板处理装置包括以并行方式排列的抗反射薄膜形成块，光刻薄膜形成块和显影块。各个块都包括化学处理舱，热处理舱和单个主传送机构。主传送机构将基板在各个块内传送。在相邻块的基板传送是通过基板台来进行的...
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