下载一种半导体生产用切割装置的技术资料

文档序号:32119783

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本发明公开了一种半导体生产用切割装置,包括激光切割器以及固定在多个支撑立柱上的切割台,所述切割台通过升降结构安装有两个安装杆体,两个所述安装杆体之间共同固定安装有一个安装座,且激光切割器的上端固定安装在安装座的下表面;所述切割台上对称开设有...
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