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一种半导体装置，在半导体衬底的表面部中具有形成为沟道区域从内壁面露出的沟。该半导体装置具有：形成在沟的内壁面上的栅绝缘膜；配置在该沟内、并隔着栅绝缘膜与沟的内壁面相对的栅电极。栅电极具有以金属元素为主体的低电阻层。...
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