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背栅MOS晶体管及其制作方法和静态随机存储器技术
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文档序号:3211951
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背栅MOS晶体管,包括栅电极,侧墙介质层,栅介质层,源漏重掺杂区和源漏轻掺杂区构成的源漏区,沟道区,其特征在于,所述源漏区和沟道区掺杂与所述栅电极相互自对准;所述源漏区的重掺杂区与沟道区之间存在与所述栅电极自对准的且对称的轻掺杂区;所述源漏...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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