下载半导体集成电路装置的制造方法的技术资料

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一种半导体集成电路装置的制造方法,在表面上绝缘层和布线层分别交错多层迭加的半导体衬底的一定区域上设置掩模ROM单元阵列部,所述掩模ROM单元阵列部设有在所述绝缘层和布线层下层的所述半导体衬底的一定区域上形成的多个存储单元晶体管,和在一定的所...
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