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本申请涉及一种半导体处理系统以及其控制组合件和方法。所述半导体处理系统包含质量流量控制器MFC、控制组合件和处理室。所述MFC耦接到气体源以接收输入气体。耦接到所述MFC的所述控制组合件包含充装室、进气阀和排气阀。所述充装室被布置成容纳所述...
该专利属于盈技企业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过盈技企业有限责任公司授权不得商用。

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