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半导体器件制造技术
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文档序号:3211259
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一种半导体器件,具备: 设置在构成漏极区的一种导电型半导体基体的一个主面上,而且隔开等间隔相互平行配置的多个槽; 由在上述槽的内壁具有绝缘膜,而且把上述槽内进行充填的反导电型的半导体材料构成的可变电位绝缘电极; 位于上述一...
该专利属于三洋电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社授权不得商用。
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