下载包含应力调节覆盖层的互连结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3210741

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一种互连结构,其中包括: 第一或多个互连层级,一个层级叠加在另一个层级之上,每个层级包括具有大于大约百万分之20(ppm)的热膨胀系数(CTE)和相关的第一内部应力的第一层面,该第一层面具有形成在其中的第一组金属线; 一个或多个...
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