专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
国际商业机器公司
>
包含应力调节覆盖层的互连结构及其制造方法技术
>技术资料下载
下载包含应力调节覆盖层的互连结构及其制造方法的技术资料
文档序号:3210741
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种互连结构,其中包括: 第一或多个互连层级,一个层级叠加在另一个层级之上,每个层级包括具有大于大约百万分之20(ppm)的热膨胀系数(CTE)和相关的第一内部应力的第一层面,该第一层面具有形成在其中的第一组金属线; 一个或多个...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。