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本申请公开了一种3DMEMS探针清洗装置及其关键结构，包括清洗底座、下固定板组件、上固定板组件、支架、压缩空气喷嘴、清洗液喷嘴、凹槽、泄流槽、弹簧卡扣、下固定环、定位销、纱网、上固定环和固定螺丝。本申请设置有便于安装的清洗底座，能够实现上固...
该专利属于强一半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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