一种3DMEMS探针清洗装置、关键结构及清洗方法制造方法及图纸

本申请公开了一种3DMEMS探针清洗装置及其关键结构，包括清洗底座、下固定板组件、上固定板组件、支架、压缩空气喷嘴、清洗液喷嘴、凹槽、泄流槽、弹簧卡扣、下固定环、定位销、纱网、上固定环和固定螺丝。本申请设置有便于安装的清洗底座，能够实现上固定板组件和下固定板组件的快速安装，采用二流体结构，一端进口进清洗液体，一端进口进压缩空气，清洗液被压缩空气打散，然后雾化成直径微小的水滴，最后喷洒到纱网中对3D MEMS探针进行清洗；本申请采用摩擦紧绷方式使纱网被摩擦绷紧，达到绷紧纱网的作用，方便3DMEMS探针的存放，通过安装弹簧卡扣，上固定板可以直接通过卡扣与下固定板组件固定，避免了拧螺丝的繁琐，方便快捷。方便快捷。方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种3DMEMS探针清洗装置、关键结构及清洗方法


[0001]本专利技术涉及一种3DMEMS探针清洗装置、关键结构及清洗方法，属于3DMEMS探针应用


技术介绍

[0002]探针卡是芯片与测试仪器之间连接的桥梁，是晶圆级芯片自动测试的核心部分，根据芯片产品测试需要，需要采用微间距设计的3D MEMS探针卡，这样可以用于大电流、高密度、大尺寸晶圆测试，3D MEMS探针根据结构工艺需要，设计为相互连接的结构，当3D MEMS探针从硅片上释放后，由于其表面残余化学药剂、颗粒等，需要对其表面做清洁，3D MEMS探针在清洗过程中，不能弯折，否则会导致探针形变报废。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种3DMEMS探针清洗装置、关键结构及清洗方法。
[0004]本专利技术的目的是这样实现的：一种3DMEMS探针清洗装置，包括清洗底座、二流体喷嘴、上固定板组件、下固定板组件和3DMEMS探针；所述3DMEMS探针夹持在上固定板组件和下固定板组件之间，所述上固定板组件和下固定板组件安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种3DMEMS探针清洗装置，其特征在于，包括清洗底座（1）、二流体喷嘴（2）、上固定板组件（3）、下固定板组件（4）和3DMEMS探针（5）；所述3DMEMS探针（5）夹持在上固定板组件（3）和下固定板组件（4）之间，所述上固定板组件（3）和下固定板组件（4）安装在清洗底座（1）上，所述清洗底座（1）上设置有二流体喷嘴（2），用于对3DMEMS探针（5）进行清洗；所述清洗底座（1）包括座体（1
‑
1），对称设置在座体（1
‑
1）两侧的支架（1
‑
2），设置在座体（1
‑
1）底部的圆弧凹槽（1
‑
3）和设置在座体（1
‑
1）底部的泄流槽（1
‑
4）；所述支架（1
‑
2）用于安装二流体喷嘴（2），所述圆弧凹槽（1
‑
3）用于固定上固定板组件（3）和下固定板组件（4），所述泄流槽（1
‑
4）用于泄流清洗液；所述二流体喷嘴（2）包括压缩空气喷嘴（2
‑
1）和清洗液喷嘴（2
‑
2），所述压缩空气喷嘴（2
‑
1）与清洗液喷嘴（2
‑
2）固定连接；所述上固定板组件（3）包括第一下固定环（3
‑
5）和第一上固定环（3
‑
2），设置在第一下固定环（3
‑
5）和第一上固定环（3
‑
2）之间的第一纱网（3
‑
3），设置在第一下固定环（3
‑
5）边缘的第一定位销（3
‑
4）和设置在第一上固定环（3
‑
2）和第一下固定环（3
‑
5）之间的第一固定螺丝（3
‑
1）；所述第一下固定环（3
‑
5）为凸台结构，第一上固定环（3
‑
2）为凹槽结构，所述第一纱网（3
‑
3）为轻柔高弹性尼龙材料，所述第一上固定环（3
‑
2）通过向下挤压把第一纱网（3
‑
3）绷紧，所述定位销（3
‑
4）为固定导向作用，用于第一下固定环（3
‑
5）和第一上固定环（3
‑
2）定位；所述下固定板组件（4）包括第二下固定环（4
‑
5）和第二上固定环（4
‑
2），设置在第二下固定环（4
‑
5）和第二上固定环（4
‑
2）之间的第二纱网（4
‑
3），设置在第二下固定环（4
‑
5）边缘的第二定位销（4
‑
4）和设置在第二上固定环（4
‑
2）和第二下固定环（4
‑
5）之间的第二固定螺丝（4
‑
1）；所述第二下固定环（4
‑
5）为凸台结构，第二上固定环（4
‑
2）为凹槽结构，所述第二纱网（4
‑
3）为轻柔高弹性尼龙材料，所述第二上固定环（4
‑
2）通过向下挤压把第二纱网（4
‑
3）绷紧，所述定位销（4
‑
4）为固定导向作用，用于第二下固定环（4
‑
5）和上第二固定环（4
‑
2）定位，弹簧卡扣（4
‑
6）用于固定上固定板组件（3）和下固定板组件（4），并将3DMEMS探针（5）夹持在上固定板组件（3）和下固定板组件（4）中间。2.一种3DMEMS探针清洗装置的关键结构，为清洗底座（1），其特征在于，包括座体（1
‑
1），对称设置在座体（1
‑
1）两侧的支架（1
‑
2），设置在座体（1
‑
1）底部的圆弧凹槽（1
‑
3）和设置在座体（1
‑
1）底部的泄流槽（1
‑
4）；所述支架（1
‑
2）用于安装二流体喷嘴（2），所述圆弧凹槽（1
‑
3）用于固定上固定板组件（3）和下固定板组件（4），所述泄流槽（1
‑
4）用于泄流清洗液。3.一种3DMEMS探针清洗装置的关键结构，为二流体喷嘴（2），其特征在于，包括压缩空气喷嘴（2
‑
1）和清洗液喷嘴（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：于海超，徐兴光，王艾琳，
申请(专利权)人：强一半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：