下载铁电存储装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3210381

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铁电存储装置包括第1电极102、在与第1电极(102)交叉的方向排列的第2电极(103)、至少配置于第1电极(102)和第2电极(103)的交叉区域的铁电体膜(101)。采用第1电极(102)、铁电体膜(101)及第2电极(103)构成的电...
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