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用波长为１００－２００ｎｍ的光进行光刻制图方法用的膜结构，它具有由以下含氟聚合物（Ａ）制成的薄膜： 含氟聚合物（Ａ）：一种基本线型的含氟聚合物，在其主链上有脂环结构，主链由碳原子组成，并符合下列要求（１）和（２）： （１）主链上...
该专利属于旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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