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本实用新型公开了一种用于金刚石单晶片平面研磨的固定工装及平面研磨装置，所述固定工装包括：主夹头，主夹头上具有用于固定待研磨单晶片的贴合面，所述贴合面上开设有沿平行于贴合面的方向贯穿主夹头的载物槽和排泄槽，所述载物槽的底面为雾面结构，且其上还...
该专利属于苏州贝莱克晶钻科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州贝莱克晶钻科技有限公司授权不得商用。

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